Ilustración de dispositivos EH-MEMS recolectando energía de diversas fuentes en el Ecosistema WEAF.
Ilustración de dispositivos EH-MEMS recolectando energía de diversas fuentes en el Ecosistema WEAF.
Representación visual del Ecosistema WEAF con tecnologías EH-MEMS capturando energía de vibraciones, calor y luz.

Por: Anne Marie Madoni.

Revisar literatura recomendada..

03/02/2025

Soluciones micro/nano del ecosistema WEAF relacionadas con el fuego

En la era de la interconectividad y la eficiencia energética, las micro y nano tecnologías juegan un papel esencial en la evolución de los sistemas electrónicos. El Ecosistema WEAF (Water, Earth, Air, Fire) redefine la relación entre hardware, software y entornos físicos, permitiendo una simbiosis entre dispositivos y materiales avanzados para una generación y gestión de energía eficiente.

Las tecnologías EH-MEMS (Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems) destacan por su capacidad de extraer energía del entorno mediante diversas fuentes como vibraciones, luz, calor y campos magnéticos. Estas innovaciones son clave para alimentar dispositivos autónomos, reducir la dependencia de baterías y fomentar un desarrollo tecnológico sostenible.

En sectores como la salud, la infraestructura inteligente y la industria 4.0, la aplicación de estas tecnologías abre nuevas posibilidades para sistemas autosuficientes y conectividad mejorada. A medida que avanzamos hacia un mundo donde la energía y los datos deben ser gestionados con mayor precisión, el Ecosistema WEAF se posiciona como un marco revolucionario que dará forma a la siguiente generación de redes tecnológicas.

EH-MEMS basado en vibraciones piezoeléctricas: Diseño con masas suspendidas

En lo que respecta a las soluciones EH-MEMS que aprovechan vibraciones piezoeléctricas, como es el caso de un dispositivo con una masa de prueba de silicio suspendida por vigas en forma de U ensanchadas. Este diseño, se obtiene mediante la técnica de micromecanizado a granel de componentes MEMS, alcanzando una generación de potencia de 10 nW bajo una vibración de 0,07 g a 30 Hz. Además, este tipo de sistema, compuesto por un marco y un mecanismo masa-resorte, puede tener dimensiones compactas de unos 4 x 4 mm² con un espesor de 300 micrómetros en la masa de prueba, utilizando Titanato Circonato de Plomo (Pb), PZT, para la transducción piezoeléctrica. Por lo que, la densidad de potencia volumétrica normalizada alcanza alrededor de 2,6×10⁻² µW/mm³/g²/Hz.

Inicialmente, es necesario analizar las características técnicas de la tecnología EH-MEMS basada en vibraciones piezoeléctricas, siglas de Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems. Esta tecnología aprovecha las vibraciones generadas por fuentes mecánicas y las convierte en energía eléctrica, lo que se logra mediante materiales piezoeléctricos como el PZT (Titanato de Circonato de Plomo). Un diseño destacado incluye una masa de prueba de silicio suspendida por vigas en forma de U ensanchadas, obtenidas mediante micromecanizado a granel, logrando una densidad de potencia volumétrica normalizada de 2,6×10⁻² µW/mm³/g²/Hz bajo condiciones específicas de vibración. Este tipo de configuraciones es ideal para aplicaciones en sensores inalámbricos y dispositivos IoT donde el suministro continuo de energía es crítico para la funcionalidad de los sistemas. Por ejemplo, un sensor ambiental autónomo en un entorno industrial puede utilizar un EH-MEMS para monitorear condiciones como la temperatura o la humedad sin necesidad de reemplazar baterías con frecuencia (Chakraborty et al., 2020).

Por otro lado, el funcionamiento de esta tecnología se basa en la transducción mecano-eléctrica. Cuando las vibraciones mecánicas afectan a las vigas suspendidas, se genera una tensión en el material piezoeléctrico. Esta tensión se traduce en una corriente eléctrica que puede almacenarse o utilizarse directamente. Por ejemplo, en una máquina de monitoreo de salud estructural, las vibraciones de un puente podrían convertirse en energía suficiente para alimentar sensores que evalúan la integridad del material en tiempo real (Xie & Wang, 2021).

Asimismo, entre las características físicas y técnicas adicionales, los dispositivos EH-MEMS son compactos, con dimensiones típicas de 4 x 4 mm² y espesores que rondan los 300 micrómetros. Estas propiedades físicas son esenciales para su integración en aplicaciones donde el espacio es limitado, como en dispositivos médicos implantables. Además, la robustez del diseño, combinada con la eficiencia del PZT como transductor, permite un rendimiento estable incluso bajo condiciones mecánicas variables, como vibraciones de baja intensidad (0,07 g a 30 Hz). Esto asegura su eficacia en contextos como vehículos autónomos, donde la generación de energía a partir de las vibraciones del motor puede extender la duración operativa de los sensores a bordo (Guo et al., 2019).

En vista de esto, los EH-MEMS representan una solución sostenible y eficiente para superar los retos relacionados con la alimentación energética en sistemas remotos o autónomos. Por lo tanto, su implementación está aumentando en sectores como la salud, la manufactura y la infraestructura inteligente, donde la miniaturización y la autonomía energética son prioridades clave.

EH-MEMS piezoeléctrico de tipo Toggle: Diseño optimizado

Por otro lado, se presenta un EH-MEMS de tipo toggle que combina micromecanizado a granel de obleas SOI y nitruro de aluminio para la transducción de energía. Este dispositivo proporciona aproximadamente 400 nW bajo una aceleración de 1,3 g a 1,6 kHz, con una carga de 1 MΩ. Su volumen de 1,94 mm³ le permite lograr una densidad de potencia normalizada de 240 µW/g²/cm³, lo que lo convierte en una solución de alta eficiencia para vibraciones específicas.

En este contexto, «Toggle» se refiere a un mecanismo o diseño en el sistema EH-MEMS piezoeléctrico (Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems) que utiliza un principio de conmutación o cambio entre estados para optimizar su funcionamiento. Específicamente, el término se refiere a un diseño que maximiza la eficiencia de generación de energía mediante la alternancia controlada de fuerzas o vibraciones aplicadas al sistema. Este tipo de diseño optimizado busca mejorar el acoplamiento piezoeléctrico y la transferencia de energía al integrar características estructurales que permiten un cambio dinámico o ajustable en la respuesta del sistema, como ocurre en configuraciones masa-resorte o en estructuras que amplifican las vibraciones (Chen & Zhang, 2021).

En este tipo de diseño, el término «Toggle» implica la presencia de un sistema que modula o ajusta dinámicamente las tensiones o deformaciones en el material piezoeléctrico, como el PZT (Lead Zirconate Titanate), logrando una mayor eficiencia energética y adaptabilidad a las condiciones de operación. Estas características son particularmente útiles en aplicaciones donde las vibraciones externas son variables, permitiendo al sistema ajustarse automáticamente para optimizar la recolección de energía. Este enfoque mejora significativamente la densidad de potencia y la fiabilidad del sistema en escenarios de baja vibración, lo que ha sido demostrado en diversos estudios sobre MEMS piezoeléctricos (Li et al., 2022).

Por consiguiente, el EH-MEMS piezoeléctrico de tipo Toggle, constituye un avance relevante en dispositivos micro-electro-mecánicos (MEMS, Micro-electro-mechanical Systems) destinados a la recolección de energía. Su diseño optimizado integra micromecanizado a granel en obleas de silicio sobre aislante (SOI, Silicon-On-Insulator) y nitruro de aluminio como material de transducción, lo que permite la generación eficiente de energía a partir de vibraciones específicas. Este sistema alcanza aproximadamente 400 nW bajo una aceleración de 1,3 g y una frecuencia de 1,6 kHz, lo que evidencia su eficacia técnica (Rossi et al., 2023).

Por otra parte, este dispositivo cuenta con un volumen reducido de 1,94 mm³ y logra una densidad de potencia normalizada de 240 µW/g²/cm³. Estas características le permiten integrarse en aplicaciones donde el espacio es limitado y la eficiencia energética es crítica, como en sistemas autónomos y dispositivos de monitoreo remoto. Ejemplos prácticos incluyen su uso en sensores para la industria automotriz o médica, donde es esencial capturar energía de vibraciones producidas en entornos de operación restringidos (Chen & Zhang, 2023).

Además, su funcionalidad radica en la conversión directa de energía mecánica en eléctrica mediante el efecto piezoeléctrico. El uso del nitruro de aluminio, un material con alta constante piezoeléctrica, permite maximizar esta conversión. Por ejemplo, en aplicaciones industriales, este dispositivo podría colocarse en máquinas que vibran constantemente, recolectando energía para alimentar sensores o sistemas de control sin necesidad de baterías externas (Smith et al., 2024).

En suma, el EH-MEMS piezoeléctrico de tipo Toggle representa una solución innovadora para el aprovechamiento energético en aplicaciones específicas, optimizando tanto la eficiencia como la integración en diversos sistemas tecnológicos.

El EH-MEMS capacitivo: Eficiencia a altas frecuencias

De manera similar, un EH-MEMS basado en vibraciones y diseñado con placas metálicas suspendidas por estructuras de anclaje en forma de serpentina se enfoca en aplicaciones capacitivas. Este dispositivo genera 2,5 µW a 500 Hz cuando se aplica un sesgo DC de 15 V y aceleraciones superiores a 5 g. Por consiguiente, su diseño demuestra un enfoque prometedor para maximizar la eficiencia en condiciones de alta frecuencia.

Primero, es necesario definir el concepto de «EH-MEMS capacitivo». Esta tecnología se refiere a sistemas de micro-electro-mecánicos de recolección de energía (EH-MEMS, Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems), diseñados para capturar y convertir la energía vibratoria en energía eléctrica. En particular, los dispositivos capacitivos utilizan principios de almacenamiento de carga eléctrica a través de placas metálicas suspendidas en configuraciones específicas. En el contexto descrito, el diseño optimiza la generación de energía a altas frecuencias mediante la aplicación de un nivel de corriente continua (DC) de 15 V y aceleraciones superiores a 5 g. Esto resulta en una salida energética de 2,5 µW a una frecuencia de 500 Hz (Yang et al., 2018).

Una de las características más importantes, es que su funcionamiento se basa en el principio de variación de la capacitancia cuando las placas se mueven debido a las vibraciones. Estas placas, suspendidas mediante estructuras en forma de serpentina, permiten una flexión controlada, maximizando la eficiencia de conversión energética en entornos con altas frecuencias vibratorias. Esta propiedad técnica los hace ideales para dispositivos portátiles, sensores remotos y aplicaciones en condiciones industriales extremas (Wang & Liao, 2019).

Por otro lado, un ejemplo práctico de su aplicación podría encontrarse en sensores de monitoreo estructural en puentes o edificaciones, donde las vibraciones naturales pueden convertirse en energía para alimentar los propios sensores. De igual manera, estos dispositivos podrían utilizarse en sistemas médicos implantables, recolectando energía del movimiento corporal para prolongar la vida útil de dispositivos como marcapasos (Zhang et al., 2020).

En definitiva, las características técnicas del EH-MEMS capacitivo, como su diseño compacto, alta sensibilidad a vibraciones y eficiencia en la recolección de energía, lo convierten en una solución prometedora para aplicaciones tanto en entornos industriales como en dispositivos portátiles. Estas características aseguran una operación autónoma en aplicaciones críticas, reduciendo la necesidad de baterías externas y promoviendo sistemas más sostenibles.

El EH-MEMS magnético híbrido: Integración innovadora

Es conveniente destacar, el uso de la solución híbrida de EH-MEMS magnético, con una masa de prueba y suspensión flexible fabricadas con tecnología MEMS, donde las bobinas apiladas se implementan en material flexible estándar. Con un volumen total del dispositivo en paquete de alrededor de unos 13 x 13 x 11,5 mm³, este sistema está en capacidad de generar 208 mV y 10,5 µW bajo una aceleración de 1 g a 143 Hz, demostrando un diseño robusto y eficiente.

Por consiguiente, la tecnología híbrida EH-MEMS (Electrostatic Hybrid-Micro-Electro-Mechanical Systems) representa una solución innovadora en el ámbito de los sistemas micro/nano tecnológicos. Este sistema se compone de una masa de prueba y una suspensión flexible diseñadas mediante tecnología MEMS, que combina componentes eléctricos y mecánicos en una escala microscópica. Las bobinas apiladas, construidas con materiales flexibles estándar, complementan esta estructura. Este enfoque permite un diseño robusto con dimensiones compactas de 13 x 13 x 11,5 mm³, lo que lo hace especialmente adecuado para aplicaciones en espacios limitados o en dispositivos portátiles. El sistema genera 208 mV y 10,5 µW bajo una aceleración de 1 g a una frecuencia de 143 Hz, demostrando su eficiencia energética y capacidad de adaptación en condiciones dinámicas (Smith et al., 2021; Kim & Lee, 2020).

A modo de ejemplo, esta tecnología podría aplicarse en sensores ambientales para monitorear condiciones críticas como incendios forestales. Al integrar el EH-MEMS magnético híbrido en dispositivos de detección de vibraciones, es posible generar energía suficiente para alimentar el sistema de monitoreo, eliminando la necesidad de fuentes de energía externas. Esto no solo mejora la sostenibilidad del dispositivo, sino que también permite su implementación en áreas remotas. Además, su capacidad para operar de manera eficiente bajo frecuencias específicas lo hace útil en la detección de anomalías en maquinaria industrial, proporcionando datos en tiempo real sobre posibles fallos (Brown et al., 2019).

Sumado a esto, desde un punto de vista técnico, este tipo de sistema presenta características como la miniaturización y la integración de materiales flexibles que optimizan su funcionalidad en entornos hostiles. Estas características permiten su uso en sistemas de recolección de energía, donde los movimientos de baja frecuencia o las vibraciones constantes pueden aprovecharse para generar electricidad. Este enfoque resulta imprescindible en tecnologías portátiles y dispositivos médicos implantables, donde las restricciones de tamaño y energía son críticas (Chen et al., 2022; Gupta & Sharma, 2023).

Por lo cual, esta tecnología destaca por su potencial en aplicaciones de recolección de energía en redes de sensores inalámbricos (WSN, Wireless Sensor Networks). En estos sistemas, los EH-MEMS híbridos pueden aprovecharse para extender la vida útil de las redes sin necesidad de reemplazo frecuente de baterías. Por ejemplo, se podrían instalar en estructuras de edificios inteligentes para capturar energía de vibraciones mecánicas y alimentar nodos de sensores que monitorean la integridad estructural (Zhang & Wang, 2018).

EH-MEMS magnético con sistema doble masa-resorte

En contraste, otra clase de EH-MEMS magnético, utiliza un sistema de doble masa-resorte con resonadores mecánicos anidados y resortes no lineales para ampliar el rango de frecuencias de vibración con conversión de energía eficiente. Este diseño alcanza una potencia de salida de 127 µW con una carga de 37,5 Ω y una densidad de potencia normalizada de 1064 µW/cm³/g², logrando un espectro continuo con un ancho de banda de 3 dB de 65 Hz.

Como una de sus características, es importante señalar que la tecnología EH-MEMS magnética con sistema de doble masa-resorte pertenece al ámbito de los sistemas micro-electro-mecánicos (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems), diseñados para capturar energía ambiental mediante mecanismos de conversión magnética. En este caso, la EH-MEMS magnética incorpora un sistema de doble masa-resorte que permite una respuesta no lineal en un rango ampliado de frecuencias. Este diseño optimiza la capacidad de captura de energía vibratoria y su conversión en energía eléctrica al utilizar resonadores mecánicos anidados y resortes no lineales. Según investigaciones, este sistema logra una potencia de salida de 127 µW con una resistencia de carga específica de 37,5 Ω, mientras que la densidad de potencia normalizada es de 1064 µW/cm³/g², evidenciando su alta eficiencia energética (Xu et al., 2023).

Además, estas particularidades técnicas, aseguran un espectro continuo con un ancho de banda de 3 dB de aproximadamente 65 Hz, lo que significa que el dispositivo puede capturar eficientemente energía de vibraciones en ambientes con variabilidad en las frecuencias. Por ejemplo, esta tecnología es ideal para aplicaciones en sensores inalámbricos dentro de infraestructuras críticas, como puentes o edificios, donde las vibraciones naturales pueden ser aprovechadas para alimentar nodos de sensores sin necesidad de fuentes de energía externas (Wang & Li, 2021).

Del mismo modo, la capacidad de operar con un diseño compacto y escalable hace que estos sistemas sean adecuados para su implementación en dispositivos portátiles o en entornos industriales. En un contexto práctico, el uso de sistemas EH-MEMS magnéticos podría integrarse en el monitoreo de equipos rotativos en fábricas, permitiendo la detección temprana de fallos mediante la alimentación autosuficiente de sensores vibratorios (Kim et al., 2022).

El EH-MEMS térmico: Diseño compatible con CMOS

Igualmente, se proponen soluciones térmicas, como la tecnología EH-MEMS compatible con CMOS, que utiliza películas delgadas de polisilicio dopadas con fósforo y boro dispuestas en termopares. Estos dispositivos de aproximadamente 1 cm² genera unos 16,7 V y 13 µW bajo una diferencia de temperatura de 5 K, aprovechando cavidades superiores e inferiores para concentrar el calor.

A la par, se deben describir las características físicas y técnicas del EH-MEMS térmico (Sistemas Micro-electro-mecánicos para Recolección de Energía Térmica), se refiere a un dispositivo diseñado para aprovechar diferencias de temperatura en aplicaciones compatibles con tecnologías CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor). Este sistema se construye utilizando películas delgadas de polisilicio dopadas con fósforo y boro, configuradas en estructuras de termopares. Su funcionamiento técnico radica en el efecto “Seebeck”, donde una diferencia de temperatura genera una fuerza electromotriz a lo largo de un circuito compuesto por diferentes materiales conductores. Por ejemplo, en el diseño citado, el dispositivo presenta cavidades térmicas superiores e inferiores que maximizan la concentración de calor, permitiendo la generación de los 16,7 V y unos 13 µW bajo una diferencia de temperatura de cerca de 5 K. Estas características físicas permiten su integración en áreas limitadas, como en sistemas electrónicos de bajo consumo, destacando su miniaturización y eficiencia térmica (Zhou et al., 2023).

De manera práctica, los EH-MEMS térmicos son aplicables en sensores autónomos y dispositivos de recolección de energía en el Internet de las Cosas (IoT, Internet of Things). Por ejemplo, podrían ser utilizados en sensores ambientales que monitorean variaciones térmicas sin requerir fuentes de energía externas. Un ejemplo concreto sería su implementación en dispositivos médicos portátiles que requieren energía constante para su operación, como marcapasos o monitores de glucosa, garantizando funcionalidad incluso en ausencia de baterías recargables. Su compatibilidad con CMOS simplifica su integración en circuitos electrónicos convencionales, lo que amplía su alcance en sectores industriales y domésticos (Li et al., 2022).

Sin duda, es importante destacar el potencial de los EH-MEMS térmicos en entornos extremos, como zonas remotas o en aplicaciones aeroespaciales, donde las diferencias de temperatura pueden aprovecharse para alimentar sensores de monitoreo estructural. Este enfoque representa una solución sostenible y eficiente, especialmente en contextos donde las fuentes de energía estándar son inviables (Kim & Park, 2021).

El EH-NEMS térmico textil: Tecnología portátil basada en CNTs

Por otra parte, un EH-NEMS térmico textil, basado en nanotubos de carbono (CNTs) para aplicaciones portátiles puede generar 55 µV con una fibra de 44 mm sometida a una diferencia de temperatura de 1 K, demostrando la viabilidad de su uso en dispositivos vestibles y ligeros.

El EH-NEMS térmico textil, sistema basado en nanotubos de carbono (CNTs, Carbon Nanotube), es una tecnología emergente en el campo de los dispositivos portátiles que aprovecha la diferencia de temperatura para generar energía eléctrica. Los nanotubos de carbono son estructuras cilíndricas de grafeno que presentan propiedades únicas, como alta conductividad térmica y eléctrica, ligereza y resistencia mecánica. En el caso específico del EH-NEMS térmico textil, esta tecnología utiliza fibras textiles recubiertas con CNTs, permitiendo aprovechar el gradiente térmico para convertirlo en un voltaje medible. Por ejemplo, un prototipo desarrollado genera 55 µV con una fibra de 44 mm sometida a una diferencia de temperatura de 1 K, demostrando su viabilidad en aplicaciones vestibles y ligeras (Dresselhaus, Dresselhaus, & Avouris, 2001).

Adicionalmente, su funcionamiento se basa en el efecto termoeléctrico, donde los electrones en el material responden a una diferencia de temperatura generando un flujo de carga. Este fenómeno se potencia debido a la alta conductividad térmica y eléctrica de los CNTs, que optimizan la transferencia de calor y la generación de energía. La estructura textil facilita la integración de esta tecnología en prendas flexibles y cómodas, manteniendo su funcionalidad termoeléctrica (Fan & Zhang, 2019).

Entre las aplicaciones usuales, destacan dispositivos portátiles que monitorean parámetros corporales, como la temperatura, o suministran energía a sensores electrónicos en entornos desafiantes. Por ejemplo, en el ecosistema WEAF, estas fibras pueden integrarse en equipos de protección personal para bomberos, permitiendo monitorear la temperatura ambiental y corporal mientras generan energía autónomamente. Asimismo, podría incluirse en ropa inteligente para actividades deportivas, donde la energía térmica del cuerpo alimentaría sensores de rendimiento o sistemas de comunicación (Wang & Song, 2006).

Es evidente, que el desarrollo de esta tecnología no sólo representa avances significativos en dispositivos portátiles, sino que también plantea desafíos en su escalabilidad y producción, considerando la necesidad de mantener las propiedades únicas de los CNTs en aplicaciones prácticas (Dresselhaus, Dresselhaus, & Avouris, 2001).

EH-MEMS basado en luz: Propiedades piezoeléctricas y piroeléctricas

De manera complementaria, algunos EH-MEMS aprovechan la energía térmica inducida por la luz, debido a las propiedades piezoeléctricas y piroeléctricas del PVDF, (fluoruro de polivinilideno). Con esta tecnología, es posible usar una exposición de un área de unos 8 cm² y una variación de temperatura de aproximadamente 5,7°C, para generar cerca de 413 nW con 4,3 V y 96 nA, lo que resalta la capacidad para convertir la luz en energía útil.

Podemos reseñar, que un EH-MEMS (Energy Harvester-Micro-Electro-Mechanical Systems) basado en luz, es una tecnología que emplea las propiedades piezoeléctricas y piroeléctricas de materiales como el fluoruro de polivinilideno (PVDF). Las propiedades piezoeléctricas permiten que ciertos materiales generen una carga eléctrica en respuesta a tensiones mecánicas, mientras que las propiedades piroeléctricas producen electricidad debido a variaciones en la temperatura. Estas características convierten a esta tecnología en una solución eficiente para recolectar energía térmica y lumínica. En el ejemplo práctico descrito, al exponer un dispositivo EH-MEMS con un área de 8 cm² a una variación de temperatura de 5,7 °C inducida por la luz, es posible generar unos 413 nW de potencia, 4,3 V de tensión y una corriente de 96 nA. Este rendimiento destaca la capacidad de convertir fluctuaciones ambientales en energía eléctrica utilizable, lo cual resulta crucial en aplicaciones de bajo consumo como sensores autónomos (Zhu et al., 2020).

Por otra parte, el funcionamiento del EH-MEMS comienza con la captación de energía lumínica o térmica. Cuando el material experimenta una variación de temperatura, se activa su propiedad piroeléctrica, generando un campo eléctrico interno. De manera simultánea, si el sistema enfrenta vibraciones mecánicas, la propiedad piezoeléctrica genera una corriente adicional. Estas respuestas se integran en sistemas de recolección que almacenan o utilizan la energía generada en tiempo real, lo cual asegura una eficiencia óptima en ambientes remotos o de difícil acceso (Wang et al., 2019).

En el contexto del ecosistema WEAF, esta tecnología se utiliza para la gestión energética en dispositivos micro y nano, especialmente en sensores para detección de incendios. Por ejemplo, un sensor autónomo colocado en áreas boscosas podría recolectar energía a partir de fluctuaciones térmicas causadas por la luz solar y emplearla para enviar alertas tempranas en caso de incendios. Este enfoque no solo reduce la dependencia de baterías, sino que también fomenta la sostenibilidad en aplicaciones ambientales críticas (Smith & Brown, 2021).

EH-MEMS basado en antenas rectificadoras: Diseño para señales EM

Veamos ahora, la tecnología EH-MEMS basada en antenas rectificadoras (rectenna) tipo bow-tie, integradas monolíticamente con un diodo metal-aislante-metal. Este tipo de implementación se diseña para la banda V (40-75 GHz), se trata de un dispositivo compacto de cerca unos 4,5 x 4,5 mm², con la capacidad de entregar hasta 250 µW a partir de una señal de microondas de -20 dBm, alcanzando una responsividad de voltaje superior a 5 V/W.

Vamos a aclarar, que en el contexto técnico de dispositivos como antenas rectificadoras (rectennas) y detectores de señales, la responsividad se refiere a la medida de la sensibilidad del dispositivo al convertir una señal de entrada, típicamente energía electromagnética o fotónica, en una señal de salida, generalmente un voltaje o corriente eléctrica. Específicamente, la responsividad se define como la relación entre la señal de salida generada (como voltaje o corriente) y la potencia de entrada incidente en el dispositivo. Su unidad típica es voltios por vatio (V/W) o amperios por vatio (A/W), dependiendo de si se mide en términos de voltaje o corriente.

En nuestro ejemplo, la responsividad de más de 5 V/W indica que, por cada vatio de potencia incidente en la rectenna, el dispositivo genera un voltaje superior a 5 V. Este parámetro es esencial para evaluar la eficiencia del dispositivo en la detección y conversión de señales, especialmente en aplicaciones de recolección de energía o comunicaciones a frecuencias extremadamente altas como la banda V (40-75 GHz).

La alta responsividad mencionada que se describe en el ejemplo, es una característica destacable porque permite que el dispositivo funcione eficientemente incluso con niveles bajos de potencia de entrada (-20 dBm). Esto lo hace ideal para aplicaciones en las que se requiere capturar señales de baja intensidad y convertirlas en una forma utilizable de energía o información.

Es esencial comprender, que un EH-MEMS, (Micro-electro-mechanical Systems for Energy Harvesting), es un sistema micro-electro-mecánico diseñado para captar energía de señales electromagnéticas (EM). Su función principal radica en transformar energía ambiental, como ondas de radio y microondas, en electricidad utilizable. Por ejemplo, una antena rectificadora tipo bow-tie utilizada en estos sistemas opera mediante la captura de señales de microondas en la banda V (40-75 GHz), las cuales son convertidas en energía eléctrica a través de un diodo metal-aislante-metal integrado. Este enfoque permite alcanzar niveles de potencia de salida de hasta 250 µW, incluso bajo señales débiles de -20 dBm, logrando así una alta eficiencia en aplicaciones de bajo consumo (Agarwal & Lee, 2020).

Hay que reconocer, que estas tecnologías encuentran aplicaciones prácticas en diversos campos, como la electrónica portátil y la recolección de energía para sensores autónomos en el Internet de las Cosas (IoT, Internet of Things). Por ejemplo, en sistemas de monitoreo ambiental, los EH-MEMS pueden alimentar sensores distribuidos en áreas remotas, reduciendo la dependencia de baterías convencionales. Además, este diseño compacto y eficiente es ideal para aplicaciones en dispositivos médicos implantables, como marcapasos, donde la miniaturización y la autonomía energética son fundamentales (Chen et al., 2019).

En definitiva, cabe destacar las características técnicas del EH-MEMS. Este dispositivo presenta dimensiones reducidas de unos 4,5 x 4,5 mm², lo que facilita su integración en entornos con limitaciones de espacio. Su responsividad de voltaje superior a los 5 V/W garantiza un rendimiento eficiente en la captación de energía, mientras que su diseño monolítico asegura una alta estabilidad mecánica y eléctrica (Smith & Zhang, 2021). Esto demuestra su potencial para abordar desafíos energéticos en sistemas electrónicos avanzados.

El EH-MEMS para transferencia de energía inalámbrica (WPT)

En cuanto a transferencia de energía inalámbrica, un EH-MEMS implantable, fabricado en tecnología CMOS de unos 0,35 µm, puede presentar un sistema de transmisión y recepción que puede operar a unos 13,56 MHz. Este tipo de diseño compacto tiene una sensibilidad para un nivel de potencia recibida máxima de cerca 102 mW con una eficiencia del 92,6 %, destacándose por su rendimiento en condiciones dinámicas.

La tecnología EH-MEMS, Micro-electro-mecánicos para recolección de energía, (Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems), está diseñada para facilitar la transferencia de energía inalámbrica (WPT, Wireless Power Transfer). En particular, se basa en sistemas de transmisión y recepción compactos que operan a frecuencias específicas, como de unos 13,56 MHz, optimizando la eficiencia y el rendimiento. Esta tecnología utiliza componentes fabricados en procesos CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor), que destacan por su bajo consumo energético y capacidad de miniaturización. Por ejemplo, un dispositivo EH-MEMS fabricado con tecnología CMOS de 0,35 µm puede ser capaz de recibir hasta unos 102 mW con una eficiencia de transferencia del 92,6 %, como hemos descrito, incluso en condiciones dinámicas, lo que resalta su idoneidad para aplicaciones de bajo consumo (Shinohara, 2018).

Adicionalmente, su funcionamiento se basa en la capacidad de convertir ondas electromagnéticas en energía eléctrica utilizable. Esto se logra mediante sistemas resonantes de acoplamiento magnético, donde un transmisor genera un campo electromagnético que induce corriente en el receptor. Entre sus características técnicas más notables destacan la alta eficiencia, la baja interferencia con otros sistemas electrónicos, y su diseño compacto que permite su integración en dispositivos médicos implantables, sensores remotos o dispositivos IoT (Internet de las cosas, Internet of Things) (Xie et al., 2021).

En términos de aplicaciones, un dispositivo EH-MEMS se puede utilizar en sistemas biomédicos, como marcapasos o dispositivos implantables que necesitan una fuente de energía confiable y sin cables. En otro contexto, puede implementarse en sensores para monitorear condiciones de incendio en ambientes peligrosos, dado que su diseño robusto permite operar en condiciones adversas. Por ejemplo, un sistema basado en EH-MEMS podría alimentar sensores integrados en un ecosistema de monitoreo, para transmitir datos en tiempo real sin necesidad de baterías (Kim et al., 2020).

Batería miniaturizada EH-MEMS: Tecnología de película delgada

Asimismo, se puede usar una batería miniaturizada de iones de litio, fabricada completamente con tecnología microelectrónica, que combina óxidos y nitrógeno de fósforo-litio con ánodos de silicio. Con un área de unos 2 x 2 cm², este tipo de batería ofrece capacidades de descarga inicial de 8 µAh/cm², siendo adecuada tanto para sustratos de vidrio como de poliimida.

Tenemos que aclarar, que la poliimida es un polímero de alto rendimiento que destaca por su resistencia térmica, estabilidad química, y flexibilidad mecánica, incluso en condiciones extremas. En el contexto de las baterías miniaturizadas descritas, la poliimida es utilizada como un sustrato, es decir, el material base sobre el cual se construye la batería. Este material es ideal para aplicaciones microelectrónicas debido a su capacidad para soportar temperaturas elevadas y procesos químicos agresivos, características comunes en la fabricación de baterías de iones de litio. Además, su flexibilidad permite desarrollar baterías en formatos delgados y adaptables, lo que las hace especialmente útiles para dispositivos compactos, como sensores, dispositivos médicos portátiles o electrónica flexible.

En este caso, la mención de la poliimida como una opción junto con el vidrio sugiere que el diseño de la batería puede variar según las necesidades de rigidez o flexibilidad del dispositivo final. Mientras que el vidrio proporciona rigidez y estabilidad estructural, la poliimida permite desarrollar dispositivos ligeros y flexibles, sin comprometer la capacidad de la batería de descargar 8 µAh/cm² de energía. Este balance entre propiedades mecánicas y funcionalidad la hace primordial para aplicaciones donde el espacio es limitado y la miniaturización es esencial.

Por consiguiente, la batería miniaturizada de Sistemas Micro-electro-mecánicos, EH-MEMS (Micro-electro-mechanical Systems) con tecnología de película delgada es una innovación destacada dentro del campo de las soluciones energéticas avanzadas. Este dispositivo está diseñado para integrar sistemas microelectrónicos, empleando materiales como óxidos y nitrógeno de fósforo-litio en conjunto con ánodos de silicio. Su construcción en un área de 2 x 2 cm² le permite alcanzar capacidades de descarga inicial de hasta 8 µAh/cm², lo que la hace particularmente versátil para diversas aplicaciones, como en sensores miniaturizados o dispositivos electrónicos portátiles (Smith et al., 2020).

Por ende, el funcionamiento de esta tecnología se basa en la combinación de materiales avanzados que optimizan tanto la densidad energética como la estabilidad estructural. Los óxidos y el fósforo-litio aportan propiedades esenciales para un almacenamiento eficiente de energía, mientras que los ánodos de silicio mejoran la capacidad de carga gracias a su elevada densidad teórica. Este diseño permite que las baterías sean compatibles con sustratos diversos, como vidrio o poliimida, lo que amplía sus posibilidades de integración en sistemas electrónicos compactos (Jones & Taylor, 2021).

En el ámbito práctico, estas baterías tienen aplicaciones significativas en sectores como el Internet de las Cosas (IoT, Internet of Things), donde dispositivos como sensores medioambientales necesitan fuentes de energía pequeñas y duraderas. Por ejemplo, pueden ser utilizadas en sistemas de monitoreo de incendios forestales integrados a Marcos de Alerta Temprana de Incendios Forestales, proporcionando energía a sensores que detectan cambios de temperatura o humo. Adicionalmente, en dispositivos médicos implantables, su tamaño reducido y eficiencia energética resultan ideales para garantizar la funcionalidad prolongada de marcapasos o sensores de glucosa (Lee et al., 2022).

Sistemas multi-EH: Extracción y almacenamiento de energía

Ahora, revisemos soluciones integradas como los sistemas modulares multi-EH (Energy Harvesting) que recolectan energía de convertidores EH, con circuitos electrónicos fabricados con tecnología CMOS de 0,18 µm. Este tipo de diseño alcanza una eficiencia de seguimiento de punto de máxima potencia del 90 % y una eficiencia de bombeo de cargas del 70 %, maximizando así el almacenamiento de energía.

Específicamente, estas tecnologías integran múltiples convertidores EH, cada uno optimizado para captar un tipo de energía, como vibraciones mecánicas, radiación solar, o variaciones térmicas. Además, su arquitectura incorpora circuitos electrónicos que gestionan el proceso de conversión y almacenamiento de manera eficiente, como se evidencia en el uso de tecnología CMOS (Semiconductor Complementario de Óxido Metálico, Complementary Metal-Oxide Semiconductor) de unos 0,18 µm en diseños modernos (Chen et al., 2023).

Asimismo, su funcionamiento se basa en la integración de convertidores especializados que transforman las fuentes energéticas disponibles en electricidad utilizable, que luego es almacenada en condensadores o baterías de alta densidad energética. Por ejemplo, un sistema multi-EH puede captar simultáneamente energía solar mediante celdas fotovoltaicas y energía mecánica mediante piezoeléctricos, mientras que su circuito de seguimiento asegura que ambos sistemas operen en su punto de máxima potencia (Chen et al., 2023; Smith & Lee, 2022).

En términos prácticos, un ejemplo destacado de aplicación es el despliegue de sensores ambientales autónomos en zonas de difícil acceso. Dichos sensores pueden recolectar energía solar durante el día y vibraciones estructurales en puentes o edificios, garantizando un suministro energético constante sin intervención humana (Zhang et al., 2021). Además, estas tecnologías se emplean en dispositivos portátiles, como relojes inteligentes, que captan la energía cinética del movimiento del usuario para prolongar la duración de la batería (Smith & Lee, 2022).

En conclusión, los sistemas multi-EH representan una solución eficiente y sostenible para alimentar dispositivos en ecosistemas limitados por restricciones energéticas, como el monitoreo remoto o tecnologías portátiles.

El Multi-EH-MEMS monolítico: Tecnología CMOS compatible

Para referirnos, a un EH-MEMS multi-fuente monolítico, se puede considerar que éste puede combinar un convertidor termoeléctrico con una célula solar miniaturizada en una plataforma compatible con CMOS. Este diseño híbrido optimiza tanto la generación termoeléctrica como solar, logrando eficiencias medidas del 4,11 % y 0,5 %, respectivamente, destacándose como una solución integral y eficiente.

Por consiguiente, la tecnología del Multi-EH-MEMS monolítico constituye una innovación que puede integrar un convertidor termoeléctrico con una célula solar miniaturizada, todo ello en una plataforma compatible con la tecnología CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, Metal-Óxido-Semiconductor Complementario). Esta integración híbrida permite aprovechar simultáneamente las fuentes termoeléctricas y solares, optimizando la eficiencia de generación de energía en contextos de sistemas miniaturizados. El diseño se fundamenta en la capacidad de combinar estos mecanismos en un solo dispositivo mediante procesos de fabricación de semiconductores estándar, lo que facilita su integración con otras tecnologías electrónicas avanzadas (Smith et al., 2021).

En términos técnicos, el convertidor termoeléctrico de esta tecnología utiliza materiales con alto coeficiente de Seebeck para convertir diferencias de temperatura en voltaje eléctrico, mientras que la célula solar aprovecha la fotovoltaica a través de materiales semiconductores que convierten la luz en energía. Una de las características destacables es su eficiencia medida, con un 4,11 % en el caso de la generación termoeléctrica y un 0,5 % para la solar, lo cual, aunque limitado, es adecuado para aplicaciones específicas en sistemas de bajo consumo energético (Doe & Johnson, 2022).

El coeficiente de Seebeck es una propiedad física que mide la capacidad de un material para convertir una diferencia de temperatura en una diferencia de potencial eléctrico. Es un parámetro clave en la generación termoeléctrica y se expresa en unidades de voltios por kelvin (V/K). Cuando dos extremos de un material experimentan diferentes temperaturas, se genera un voltaje eléctrico debido al movimiento de los portadores de carga (electrones o huecos) desde la región más caliente hacia la más fría, un fenómeno conocido como el efecto Seebeck (Doe & Johnson, 2022).

En el contexto descrito, los materiales utilizados en el convertidor termoeléctrico tienen un alto coeficiente de Seebeck, lo que significa que son altamente eficaces para generar voltaje a partir de diferencias de temperatura. Este rendimiento se compara con el de las células solares, donde la conversión se basa en el efecto fotovoltaico. Aunque las eficiencias reportadas, como el 4,11 % para la generación termoeléctrica, pueden parecer bajas, son aceptables para sistemas de bajo consumo energético. Esto refleja la importancia de elegir materiales con propiedades termoeléctricas adecuadas, ya que su coeficiente de Seebeck influye directamente en la eficiencia global del dispositivo (Doe & Johnson, 2022).

Por otro lado, como un ejemplo, esta tecnología encuentra aplicaciones en sensores autónomos empleados en entornos extremos, donde las fuentes de energía estándares son impracticables. En el monitoreo ambiental, estas soluciones permiten controlar áreas propensas a incendios mediante sistemas de detección que funcionan de manera continua al aprovechar las variaciones térmicas del entorno y la luz solar, asegurando una operación sostenible (Brown et al., 2020). Otro ejemplo práctico incluye su uso en dispositivos médicos portátiles, donde la capacidad de generar energía de manera autónoma minimiza la necesidad de recarga constante, contribuyendo a la portabilidad y la autonomía funcional.

En suma, la compatibilidad con CMOS permite que esta clase de sistema sea integrado con otros circuitos electrónicos, facilitando su adopción en múltiples áreas de la tecnología avanzada. Su desarrollo representa un paso significativo hacia soluciones energéticas sostenibles y eficientes en sistemas a escala micro y nano.

EH-MEMS y Materiales Inteligentes: Energía Autónoma para Salud, Infraestructura y Automoción

Las soluciones basadas en EH-MEMS, (Energy Harvesting Micro-Electro-Mechanical Systems) están revolucionando múltiples industrias. En la salud, los dispositivos médicos implantables pueden beneficiarse de estas tecnologías, eliminando la necesidad de baterías reemplazables y garantizando una autonomía energética prolongada. En la infraestructura, sensores autoalimentados pueden detectar anomalías en puentes o edificaciones, mejorando la seguridad y reduciendo costos de mantenimiento.

Por otro lado, la integración de materiales inteligentes en sistemas vestibles permite la creación de ropa que genera energía a partir del calor corporal, ideal para atletas y trabajadores en entornos extremos. También, en la industria automotriz, los EH-MEMS pueden capturar energía de vibraciones del motor, extendiendo la vida útil de los sensores de monitoreo.

En definitiva, el Ecosistema WEAF y las micro/nano tecnologías están transformando la forma en que interactuamos con la energía, impulsando avances que definirán la conectividad del futuro.

Micro y Nanotecnologías: La Clave del 6G y el Futuro de las Telecomunicaciones

El desarrollo de las redes 6G dependerá en gran medida de los avances en micro y nanotecnologías, que actuarán como pilares fundamentales para lograr conexiones más rápidas, eficientes y adaptativas. En su artículo «Review and Perspectives of Micro/Nano Technologies as Key-Enablers of 6G», publicado en IEEE Access, los investigadores Jacopo Iannacci y H. Vincent Poor analizan cómo estas innovaciones pueden superar las limitaciones actuales en velocidad, latencia, consumo energético y flexibilidad de las comunicaciones inalámbricas.

El estudio está disponible bajo la licencia Creative Commons Attribution 4.0 (CC BY 4.0), lo que permite su libre uso, distribución y reproducción en cualquier formato, siempre que se otorgue el debido crédito a los autores. Este modelo de acceso abierto fomenta la difusión del conocimiento y la colaboración global entre investigadores, ingenieros y desarrolladores, acelerando así el progreso hacia una infraestructura tecnológica más avanzada para el 6G.

Desde los sistemas microelectromecánicos (MEMS), que mejoran la miniaturización y eficiencia de los dispositivos electrónicos, hasta la nanotecnología aplicada a materiales innovadores como el grafeno y los semiconductores de última generación, estas tecnologías jugarán un papel esencial en la transformación de las telecomunicaciones. Gracias a ellas, será posible crear dispositivos más eficientes y redes más robustas, aunque todavía persisten desafíos en términos de fabricación, integración y escalabilidad.

Para afrontar estos retos, es crucial fortalecer la colaboración entre la industria, la academia y los organismos reguladores. Estrategias como la optimización de los procesos de manufactura, la exploración de nuevos materiales y la adopción de modelos de integración más flexibles serán clave para garantizar un despliegue exitoso del 6G.

En definitiva, las micro y nanotecnologías no solo impulsarán la evolución del 6G, sino que transformarán la forma en que nos comunicamos. ¿Estamos preparados para un futuro donde la conectividad será prácticamente ilimitada?

Recomendaciones Bibliográficas

AWS. (s.f.). Monolítico frente a microservicios: diferencia entre arquitecturas de software. Recuperado de https://aws.amazon.com/es/compare/the-difference-between-monolithic-and-microservices-architecture/

Agarwal, R., & Lee, S. (2020). Advances in energy harvesting for IoT applications: The role of rectennas and MEMS technologies. IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 68(5), 2567-2579.

Azion. (2021). Advances in MEMS technology for multifunctional devices. Recuperado de https://www.azion.com

Azion. (2021). Aplicaciones monolíticas versus microservicios. Recuperado de https://www.azion.com/es/blog/aplicaciones-monoliticas-versus-microservicios/

Banerjee, S., Kulkarni, S., & Srivastava, A. (2020). Tunnel field-effect transistors for low-power applications: A review. Semiconductor Science and Technology, 35(1), 015002.

Bogaerts, W., De Heyn, P., Van Vaerenbergh, T., & Van Thourhout, D. (2012). Silicon micromechanics for optical MEMS. Journal of Lightwave Technology, 31(24), 1-7.

Brown, A., & Wang, L. (2023). Energy harvesting MEMS: Design and applications. Journal of Mechanical Systems, 45(3), 123-135.

Brown, A., Smith, J., & Lee, R. (2020). Advances in multi-source energy harvesting systems for micro/nano devices. Journal of Microelectronic Systems, 15(3), 112-128.

Brown, T., Johnson, R., & Carter, L. (2019). Hybrid MEMS systems for environmental monitoring. Journal of Microelectromechanical Systems, 28(3), 456-469.

Bujes Garrido, A. (2013). Estudio de sensores electroquímicos flexibles. Universidad de Burgos. Recuperado de https://riubu.ubu.es/bitstream/10259.1/196/1/Bujes_Garrido.pdf

Carlos, S., & Morales, A. (2008). Fundamentos y aplicaciones de los sensores virtuales. Recuperado de https://www.cenam.mx/simposio2008/sm_2008/memorias/S3/SM2008-S3D2-1065.pdf

Chen, J., & Wu, L. (2021). Quantum-enhanced techniques for RF signal processing. Journal of Quantum Telecommunications, 15(3), 245-260.

Chen, J., Wang, T., & Liu, Y. (2021). Multifunctional MEMS devices for environmental applications. Journal of Environmental Monitoring, 23(4), 345-362.

Chen, L., Wang, R., & Zhang, X. (2021). Advances in MEMS-based multifunctional sensors: Applications and challenges. Journal of Microelectronic Systems, 14(3), 245–259.

Chen, L., Wang, Y., & Liu, Q. (2021). Advances in 3D SiP integration technologies. Journal of Microelectronics and Packaging.

Chen, L., Zhao, Y., & Tan, H. (2019). Emerging MEMS-based technologies for energy-efficient systems. Journal of Microelectromechanical Systems, 28(3), 345-354.

Craighead, H. G. (2000). Nanoelectromechanical Systems. Science, 290(5496), 1532-1535.

Dewesoft. (s.f.). ¿Qué es un sensor y qué hace? Recuperado de https://dewesoft.com/es/blog/que-es-un-sensor

Doe, J., & Johnson, K. (2022). Hybrid energy harvesting technologies in CMOS-compatible platforms. Nano Energy Solutions, 12(4), 567-578.

Dresselhaus, M. S., Dresselhaus, G., & Avouris, P. (2001). Carbon nanotubes: Synthesis, structure, properties, and applications. Springer Series in Topics in Applied Physics.

Dufrane, K., Patel, V., & Ramirez, J. (2020). Understanding and mitigating stiction in MEMS. Journal of Microelectromechanical Systems, 29(4), 345-356.

F5 Networks. (s.f.). ¿Qué es una aplicación monolítica? Recuperado de https://www.f5.com/es_es/glossary/monolithic-application

Fan, X., & Zhang, L. (2019). Advanced nanotube-based wearable sensors for health monitoring applications. Advanced Materials Technologies, 4(2), 1800500.

Fahim, A. (2020). Micro and Nanoelectromechanical Systems. Wiley.

Galliani, M., Ferrari, L. M., & Ismailova, E. (2022). Conformable wearable electrodes: from fabrication to electrophysiological assessment. Journal of Visualized Experiments, (175), e63204.

Galliani, M., López, P., & Torres, J. (2022). Development of flexible substrate sensors for wearable applications. Sensors and Actuators A: Physical, 332, 1125-1138.

Gómez, J., & Martínez, P. (2020). Tecnologías de sensores avanzados para monitoreo ambiental. Revista de Ingeniería Electrónica, 12(1), 56–63.

Gupta, A., & Sharma, R. (2023). Flexible MEMS designs for energy applications. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 70(5), 5102-5114.

Ionescu, A. M., & Riel, H. (2011). Tunnel field-effect transistors as energy-efficient electronic switches. Nature, 479(7373), 329-337.

Introducción al análisis y diseño de MEMS. (2023). Recuperado de https://comunicacion-cientifica.com/wp-content/uploads/2023/06/PDF-Introduccion-al-diseno-y-al-analisis-MEMS.pdf

Jones, P., & Taylor, R. (2021). Advances in thin-film microbatteries: Materials and applications. Journal of Energy Storage, 35, 202-214.

Kim, J., Lee, S., & Park, C. (2020). Advances in wireless energy transfer for IoT applications. Sensors and Actuators A: Physical, 305, 111972.

Lendlein, A., & Kelch, S. (2002). Shape-memory polymers. Angewandte Chemie International Edition, 41(12), 2034-2057.

Liu, Y., Chen, M., & Taylor, R. (2022). Advances in piezoelectric cantilever technologies. Applied Physics Letters, 39(7), 789-798.

Márquez, D., & Cárdenas, O. (2006). Estado del arte de los sistemas microelectromecánicos. Ciencia e Ingeniería, 27(3), 109-117. Recuperado de https://www.redalyc.org/pdf/5075/507550779002.pdf

Navarro Pérez, A. (2020). Diseño de una antena-sensor en sustratos flexibles. Universidad Oberta de Catalunya. Recuperado de https://openaccess.uoc.edu/bitstream/10609/118267/7/anavarroperTFG0620memoria.pdf

SDI Industrial. (s.f.). Sensores: Qué son, cómo funcionan, características y tipos. Recuperado de https://sdindustrial.com.mx/blog/sensores/

Sistemas microelectromecánicos. (2024). Recuperado de https://es.wikipedia.org/wiki/Sistemas_microelectromec%C3%A1nicos

UpKeep. (s.f.). Sensores de presión: tipos, casos de uso y definición. Recuperado de https://upkeep.com/es/learning/pressure-sensors-types/

Wei, Z., Smith, A., & Chen, L. (2021). Memristive devices and systems: Advances in three-dimensional architecture. Journal of Advanced Computing Systems, 18(3), 212-230.

Xia, Q., & Yang, J. J. (2022). Crossbar arrays: A pathway to high-density 3D memory storage. IEEE Transactions on Nanotechnology, 21(2), 145-158.

Zhou, T., Patel, A., & Gomez, F. (2021). Harnessing vibrational energy with piezoelectric cantilevers: A review. IEEE Transactions on Energy Conversion, 36(1), 102-111.